ISMI предлагает программное обеспечение для отслеживания показателей надежности оборудования

Международная производственная инициатива SEMATECH (ISMI) выпустила свой калькулятор надежности, доступности и ремонтопригодности (RAMCalc), веб-приложение, которое собирает и вычисляет метрики RAM на уровне оборудования, модуля и пластины для составления отчетов в соответствии с SEMI E10. RAMCalc от ISMI позволяет инженерам по оборудованию, промышленным предприятиям и специалистам по техническому обслуживанию рассчитывать такие показатели оперативной памяти, как среднее время наработки на отказ, среднее время восстановления, среднее время автономной работы и доступность для однопутевых и сложных многопутевых кластерных инструментов.

Базовый однопутевый RAMCalc, доступный для широкой публики, рассчитывает производительность однокамерного или некластерного производственного оборудования. В дополнение к калькулятору одного пути, версия RAMCalc с несколькими путями позволяет отслеживать сложное многопутевое кластерное инструментальное оборудование.

«Разработка надежного решения для сбора данных для демонстрационного тестирования оборудования имеет решающее значение, - сказал Лорн Кристал, менеджер проекта ISMI. «Роль ISMI в демонстрационных испытаниях оборудования заключается в предоставлении точных показателей производительности, сформулированных на основе стандартизованных механизмов сбора данных».

Алгоритмы, используемые в RAMCalc, могут быть загружены независимо в инструменты fab для автоматического создания метрик RAM, соответствующих SEMI E10. По словам Джо Бикман, со-менеджера проекта, «RAMCalc гибок. В настоящее время он генерирует метрики, соответствующие SEMI E10, но с использованием другого набора состояний его можно адаптировать к другим метрикам, например, связанным с производительностью оборудования, или его можно использовать для генерации метрик для состояний, которые еще не определены ».

SEMI E10 - это хорошо известный промышленный стандарт для измерения характеристик надежности оборудования для производства полупроводников. SEMI E10 устанавливает общую основу для связи между пользователями и поставщиками полупроводникового оборудования, предоставляя стандарты для измерения производительности RAM этого оборудования в производственной среде. Голосование по пересмотру стандарта SEMI E10 ожидается в конце этого года. В бюллетене будет предпринята попытка формализовать расчет показателей RAM для многопутевого кластерного инструментального оборудования. RAMCalc от ISMI разработан для соответствия новым бюллетеням.

Исходный код RAMCalc доступен через среду совместной разработки приложений ISMI (CADe). CADe - это программа совместного использования исходного кода, доступная бесплатно для членов ISMI и на безвозмездной основе для компаний, не являющихся членами.

ISMI представит введение об использовании RAMCalc для отслеживания или оценки производительности оборудования в ситуациях, связанных с марафонскими тестами и крупносерийными производственными средами на симпозиуме ISMI 1 ноября 2010 года. В рамках курса будут освещены новые концепции:предполагаемые наборы процессов, кластер с одним путем инструменты и инструменты многопутевого кластера, а также продемонстрируют, как RAMCalc можно использовать в каждой из этих ситуаций.

Базовое приложение RAMCalc доступно на общедоступном веб-сайте ISMI по адресу http://ismi.sematech.org/industry/ramcalc/index.htm. За дополнительной информацией обращайтесь к Йоханнесу Бикману, [email protected], или Лорну Кристалу, [email protected].

Об ISMI
ISMI - это глобальный альянс крупнейших мировых производителей полупроводников, целью которого является снижение стоимости одной пластины и, в конечном итоге, стоимости кристалла за счет совместных программ, направленных на повышение эффективности производства. ISMI является 100-процентной дочерней компанией SEMATECH, www.sematech.org.