Интерферометрия с субпиксельным пространственным разрешением

Новаторы из NASA Marshall совместно с Центром прикладной оптики Университета Алабамы в Хантсвилле разработали систему, которая увеличивает пространственное разрешение интерферометрических измерений оптических поверхностей за пределы фундаментального предела Найквиста системы формирования изображения/детектора интерферометра. Система субпиксельной интерферометрии с пространственным разрешением (SSRI) позволяет изготовителям оптики точно оценивать характеристики поверхности пространственных частот, которые не могут быть точно разрешены с помощью стандартных интерферометров.

Текущие тенденции в оптическом дизайне создают новые типы спецификаций, требующие отдельных полос пространственных частот и требующих оптики с большей апертурой; однако возможность охарактеризовать эти особенности на всей апертуре требует улучшений. Система SSRI удовлетворяет эту потребность за счет увеличения пространственного разрешения интерферометрических измерений с полной апертурой с использованием метода, включающего чересстрочное сшивание измерений с низким разрешением, выполненных при субпиксельных латеральных смещениях, для повышения пространственного разрешения.

Система SSRI увеличивает пространственное разрешение интерферометрических измерений за счет выполнения нескольких измерений оптической поверхности с субпиксельными сдвигами между детектором с зарядовой связью (ПЗС) и тестируемой оптикой между измерениями. Затем измерения объединяются для создания одного измерения с более высоким пространственным разрешением.

Измерения объединяются с помощью алгоритма сшивания. Этот метод снимает ограничение пространственного разрешения, определяемое размером пикселя и расстоянием между ними. Предполагается, что оптическая система была спроектирована таким образом, чтобы пропускать особенности более высоких пространственных частот. Этот новый метод позволит точно квалифицировать прецизионную оптику в соответствии со спецификациями и позволит производителям детерминистически исправлять ошибки более высоких пространственных частот. Систему SSRI можно интегрировать с небольшими изменениями в существующие коммерчески доступные интерферометры и интерферометрические профилировщики для увеличения получаемого пространственного разрешения.

НАСА активно ищет лицензиатов для коммерциализации этой технологии. Пожалуйста, свяжитесь с консьержем НАСА по лицензированию:Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. или позвоните нам по телефону 202-358-7432, чтобы начать обсуждение лицензирования. Перейдите по этой ссылке здесь Чтобы получить больше информации.