Продвинутая интерферометрия с субпиксельным пространственным разрешением: превышение предела Найквиста

Инноваторы в NASA Маршалле, в сочетании с Центром прикладной оптики Университета Алабамы в Хантсвилле, разработали систему, которая увеличивает пространственное разрешение интерферометрических измерений оптических поверхностей за пределами фундаментального предела Найквиста интерферометрической системы визуализации/детектора. Система интерферометрии с субпиксельным пространственным разрешением (SSRI) позволяет оптическим фабрикантам точно квалифицировать поверхностные особенности пространственных частот, которые не могли быть точно разрешены с использованием стандартных интерферометров.

Текущие тренды в оптическом дизайне производят новые типы спецификаций, требующие отдельные полосы пространственных частот и вызывающие большие апертурные оптики; однако способность характеризовать эти особенности по полной апертуре требует улучшений. Система SSRI удовлетворяет эту потребность, увеличивая пространственное разрешение полноапертурных интерферометрических измерений с использованием техники, включающей переплетение сшивки измерений низкого разрешения, взятых при субпиксельных боковых смещениях для улучшения пространственного разрешения.

Система SSRI увеличивает пространственное разрешение интерферометрических измерений путем выполнения множественных измерений оптической поверхности с субпиксельными сдвигами между заряженным сопряженным устройством (CCD) детектором и оптикой под тестом между измерениями. Измерения затем комбинируются для создания единого измерения с более высоким пространственным разрешением.

Измерения комбинируются с использованием алгоритма сшивки. Этот метод снимает ограничение пространственного разрешения, определенное размером пикселя и интервалом. Предполагается, что оптическая система была спроектирована для допуска прохождения признаков более высоких пространственных частот. Эта новая техника позволит точной оптике быть точно квалифицированной против спецификаций и позволит фабрикантам детерминированно корректировать ошибки более высоких пространственных частот. Система SSRI может быть интегрирована, с незначительными модификациями, в существующие коммерчески доступные интерферометры и интерферометрические профилировщики для увеличения достижимого пространственного разрешения.

NASA активно ищет лицензиатов для коммерциализации этой технологии. Пожалуйста, свяжитесь с Консьержем лицензирования NASA по адресу Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Вам нужно включить JavaScript, чтобы увидеть его. или позвоните нам по 202-358-7432 для начала дискуссий о лицензировании. Следуйте этой ссылке здесь  для получения дополнительной информации.