Semitron® MPR1000: материальное решение нового поколения для плазменной обработки полупроводников

Обзор Semitron® MPR1000

Разработанный Mitsubishi Chemical Advanced Materials, Semitron® MPR1000 — высокопроизводительный инженерный полимер для камер плазменной обработки полупроводников. Аббревиатура MPR — Maximum Plasma Resistance — подчёркивает его превосходную долговечность в агрессивных кислородных средах, где обычные керамика и кварц являются дорогими или хрупкими.

Ключевые преимущества

• Исключительная теплостойкость до 260 °C
• Ультра-низкий эрозионный износ: 0,44 % потери массы при 1 кВт плазмы против 7,98 % для PEEK, 6,86 % для Torlon® и 6,15 % для Vespel®
• Выдающаяся химическая стабильность — в 25 раз более долгая жизнь в озоне по сравнению с полиимидами вроде Vespel®
• Минимальное ионное содержание и выделение газов, снижающее загрязнение в вакуумных камерах
• Отличная стойкость к сколу и износу, обеспечивающая надёжную работу за длительные циклы
• Точная обрабатываемость для крепежей, шайб, штифтов и нестандартных компонентов
• Экономичность: наивысшая производительность при наименьшей стоимости материала среди пластмасс для плазменной обработки

Типичные применения

Детали из MPR1000 включают винты, гайки, плоские шайбы, зажимные кольца, треновые кольца, штифты, душные головки, центрирующие штифты, фокусные кольца, изоляторы, вакуумные подушки, направляющие подложек и широкий спектр нестандартных деталей для полупроводникового производства.

Понимание плазмы в полупроводниковой обработке

Плазма — ионизированный газ — служит «четвёртым состоянием материи» и является ключевой для очистки подложек, активации поверхностей, осаждения и травления. В промышленных установках вакуумная камера заполняется газами низкого давления (кислород, азот, аргон, водород, CF₄) и возбуждается РЧ-энергией для генерации плазмы. Точная смесь газа, давления и мощности контролирует результат обработки.

Почему Semitron® MPR1000 превосходит в плазменных средах

В отличие от кварца, керамики, Torlon®, Vespel® или PEEK, MPR1000 сохраняет структурную целостность при интенсивном воздействии плазмы. Низкая эрозия и химическая стойкость переводятся на меньшее число циклов обслуживания и более долгий срок службы устройств.

Чистота и контроль загрязнений

Благодаря низкому ионному содержанию и минимальному выделению газов, MPR1000 уменьшает частицатные и молекулярные загрязнители, которые могли бы ухудшить качество подложек.

Экономическая эффективность

Учитывая стоимость материала, долговечность и сокращение простоя, MPR1000 предлагает лучшую ценность для производителей полупроводников.

По вопросам чертежей, деталей или технической поддержки свяжитесь с Craftech Industries, Inc. в Хадсоне, штат Нью-Йорк — ваш надежный партнёр по производству из Semitron® MPR1000.