Semitron® MPR1000 для полупроводниковой промышленности

Semitron® MPR1000 - это новый технический материал, разработанный Mitsuibishi Chemical Advanced Materials для применения в полупроводниках. MPR означает максимальное сопротивление плазмы. Он предназначен для использования в вакуумных плазменных камерах для замены керамики и кварца в производстве ICU. Керамика дороже, а кварц склонен к разрушению. В этом случае он также работает лучше, чем PEEK, PAI, такой как Torlon®, или полиимидные термопласты. Например, MRP1000 имеет увеличенный срок службы в плазменных камерах до 25 раз в озоне, чем полиимиды, такие как Vespel®.

Детали, изготовленные из MPR1000, включают винты, шестигранные гайки, плоские шайбы, зажимные кольца, траншейные кольца, штифты и насадки для душа, а также центрирующие штифты, фокусные кольца, изоляторы, вакуумные подушки, направляющие для пластин и множество нестандартных деталей.

Плюсы Semitron® MPR1000

Отличная термостойкость

Низкая скорость эрозии в плазменных камерах

Низкое содержание ионов и низкое выделение газов

Отличная стойкость к сколам

Отличная долговечность

Легко обрабатывается

Самый дешевый пластиковый материал, который также обеспечивает высочайшие характеристики в плазменных камерах

Что такое плазма?

Плазма часто описывается как четвертое состояние материи, потому что она не является ни жидкостью, ни газом, ни твердым телом. Он существует в виде ионов и электронов. По сути, плазма - это ионизированный газ, наэлектризованный дополнительными электронами, как отрицательными, так и положительными. Хотя плазма действительно существует где-нибудь во Вселенной, здесь, на Земле, в естественных условиях мало что происходит. Примерами плазмы на нашей планете являются молнии, статическое электричество и полярные сияния.

Зачем обрабатывать поверхность плазмой?

Плазменная обработка поверхности кремниевой пластины обычно проводится для очистки, активации поверхности, осаждения и травления. Обработка поверхностей плазмой удаляет все посторонние загрязнения, что делает их более пригодными для дальнейшей обработки.

Плазменная обработка поверхности обычно проводится в камере, из которой откачан воздух. Затем в камеру поступает газ под низким давлением. Обычно в качестве технологического газа используется промышленный кислород, отсюда широко известное выражение «плазма, богатая кислородом». Но также часто используются азот, аргон, водород и углеродный тетрафторметан. Эти газы или их комбинация используются в большинстве лабораторий по всему миру. Semitron MPR1000 может противостоять этим суровым условиям лучше, чем традиционные материалы:кварц, керамика, Torlon®, Vespel® или PEEK.

Затем газ возбуждается радиочастотной энергией, которая генерируется между набором электродов. Результат - плазма. Выбирая газовую смесь, давление и мощность, можно точно контролировать воздействие плазменной обработки на поверхность.

Низкая скорость эрозии

По сравнению с процентом потери веса в богатой кислородом плазме, Semitron® MPR1000 превосходит PEEK, Torlon® и Vespel®. MPR1000 разрушается на 0,44% на 1 кВт. PEEK теряет 7,98%, в то время как Torlon подешевел на 6,86%, а Vespel - на 6,15%. MPR1000 работает в 13 раз лучше, чем Vespel.

Чистота:низкое содержание ионных веществ и низкое выделение газов

Semitron® MPR1000 имеет низкое содержание ионов и низкое газовыделение. Ион - это атом или молекула, несущая электрический заряд. Следовательно, загрязнение материала в вакуумной плазменной камере будет низким.

Стоимость

Semitron® MPR1000 имеет более низкую общую стоимость, чем другие широко используемые материалы, но обеспечивает высочайшие характеристики в плазменных камерах.

Отпечатки, детали или проблемы? Свяжитесь с нами в Craftech Industries, Inc., Хадсон, штат Нью-Йорк.

Craftech - производитель крепежа, компонентов и нестандартных деталей для Semitron MPR1000.