Вольфрамовая мишень высокой чистоты для полупроводниковых чипов

Что касается нынешних горячих полупроводниковых чипов, новая пленка оксида вольфрама может служить их диффузионным барьером, клеевым слоем, крупномасштабным электродом памяти интегральной схемы и т. д. ., что может значительно улучшить общее качество чиповых продуктов.

Как мишени из вольфрама высокой чистоты создают пленки оксида вольфрама? Распыление - один из основных методов получения тонкопленочных материалов из оксида вольфрама. Он бомбардирует вольфрамовые мишени высокоскоростными ионами, и генерируемые атомы испускаются и накапливаются на поверхности подложки, образуя покрытие. Пленка оксида вольфрама, полученная методом целевого напыления, обладает такими преимуществами, как высокая плотность, хорошая адгезия и хорошая коррозионная стойкость, поэтому она подходит для использования в полупроводниковых чипах.

Как сделать вольфрамовую мишень?

Прежде всего, вольфрамовый порошок . помещается в оболочку и вакуумируется, а порошок вольфрама в оболочке впервые уплотняется в процессе холодного изостатического прессования с образованием первой вольфрамовой целевой заготовки. После первой обработки уплотнением оболочка удаляется, и первая заготовка из вольфрамовой мишени подвергается второй обработке уплотнением с использованием процесса индукционного спекания с образованием второй заготовки из вольфрамовой мишени. После второй обработки уплотнением заготовка второй вольфрамовой мишени подвергается третьей обработке уплотнением с использованием процесса горячего изостатического прессования с образованием мишени из вольфрама.

Вольфрамовая мишень, полученная этим методом, имеет характеристики высокой плотности, низкого содержания примесей, высокой механической стабильности, хорошей однородности внутренней структуры и большого размера кристаллического зерна, что позволяет лучше соответствовать требованиям современных процессов распыления.

Заключение

Спасибо за то, что прочитали нашу статью, и мы надеемся, что она поможет вам лучше понять мишень из высокочистого вольфрама. Если вы хотите узнать больше о тугоплавком вольфраме, мы хотели бы посоветовать вам посетить Advanced Refractory Metals (ARM) для получения дополнительной информации.

Advanced Refractory Metals (ARM) со штаб-квартирой в Лейк-Форест, Калифорния, США. является ведущим производителем и поставщиком тугоплавких металлов и сплавов по всему миру. Он предоставляет клиентам высококачественные тугоплавкие металлы и сплавы, такие как ниобий . , молибден, тантал, рений , вольфрам, титан, и цирконий по очень конкурентоспособной цене.