Мишень из вольфрамового титанового сплава для чипов

Мишень из вольфрамо-титанового сплава для чипов

Основная причина, по которой новые полупроводниковые чипы выбирают вольфрам-титановый сплав Задача в качестве диффузионного барьера и связующего слоя заключается в том, чтобы сплав имел хорошую поверхностную адгезию и отличные свойства рассеивания тепла. Таким образом, готовый продукт будет иметь более высокие комплексные характеристики.

Мишень из вольфрамового сплава титана для чипов

Вольфрам-титановый сплав - это сплав, обладающий преимуществами переходных металлов вольфрама и титана. Он обладает такими характеристиками, как более высокая плотность и чистота, лучшая коррозионная стойкость и меньший эффект объемного расширения, что может эффективно уменьшить образование частиц в процессе производства, то есть с его помощью можно успешно получать высококачественные пленки.

Ниже приведен метод подготовки вольфрамо-титанового сплава:

Шаг 1. Возьмите определенное количество вольфрамового порошка . и титановый порошок и смешайте их равномерно в инертной атмосфере. Массовая доля вольфрамового порошка составляет 10-65%.

Шаг 2. Для прессования полученного смешанного материала в заготовку используется механический или холодный изостатический пресс.

Шаг 3. Полученная заготовка помещается в вакуумную печь для спекания для уплотнения и спекания.

Шаг 4. После охлаждения вольфрамо-титанового материала, спеченного на шаге 3, он плавится в нерасходуемой вакуумной электродуговой печи для получения продукта.

По сравнению с другими методами подготовки, этот метод подготовки вольфрам-титанового сплава имеет следующие преимущества:

1. Производственный процесс прост и удобен в эксплуатации.

2. Использование смешанного сырья из порошка вольфрама и титана, прессование, спекание и электродуговая плавка могут эффективно решить технические проблемы, связанные с низкой эффективностью приготовления традиционного вольфрам-титанового сплава и сложным контролем однородности материала и содержания примесей.

3. Материал из вольфрам-титанового сплава, полученный этим методом, имеет массовую долю вольфрама 10-60%, что подходит для приготовления партии.

Заключение

Спасибо за то, что прочитали нашу статью, и мы надеемся, что она поможет вам лучше понять вольфрамо-титановый сплав. Если вы хотите узнать больше о других тугоплавких металлах и сплавах, мы хотели бы посоветовать вам посетить Advanced Refractory Metals (ARM) для получения дополнительной информации.

Advanced Refractory Metals (ARM) со штаб-квартирой в Лейк-Форест, Калифорния, США. является ведущим производителем и поставщиком тугоплавких металлов и сплавов по всему миру. Он предоставляет клиентам высококачественные тугоплавкие металлы и сплавы, такие как ниобий . , молибден, тантал, рений , вольфрам, титан, и цирконий по очень конкурентоспособной цене.