Высокопроизводительные вольфрамо-титановые мишени для передовых полупроводниковых чипов

Вольфрамо-титановый сплав все чаще выбирают как диффузионный барьер и связующий слой в новых полупроводниковых приборах, потому что он сочетает отличную поверхностную адгезию с выдающейся теплопроводностью. Результат — мишень, доставляющая превосходную производительность на протяжении всего процесса чип-фактурирования.

И вольфрам, и титан вносят уникальные выгоды: высокую плотность, исключительную чистоту, надежную коррозионную стойкость и минимальное объемное расширение. Эти свойства подавляют формирование частиц при осаждении, обеспечивая высококачественные тонкие пленки.

Процесс приготовления

Ниже приведен упрощенный, высокоэффективный метод производства вольфрамо-титановых заготовок, пригодных для партионного производства.

1. Объединить вольфрамный порошок (10–65 масс.%) с титановым порошком под инертной атмосферой для предотвращения окисления.
2. Уплотнить однородную смесь в заготовку с использованием механического пресса или холодного изостатического пресса.
3. Поместить заготовку в вакуумную спеканную печь и нагреть для полной уплотнения материала.
4. После охлаждения расплавить спеканный сплав в нерасходной вакуумной дуговой печи для получения финальной мишени.

Ключевые преимущества этого метода:

• Простой, удобный рабочий процесс.
• Устраняет низкую эффективность и неравномерный состав традиционных процессов.
• Производит сплавы с 10–60 масс.% вольфрама, идеальные для крупносерийного производства.

Заключение

Надеемся, этот обзор прояснил выгоды и производство вольфрамо-титановых мишеней для полупроводниковых применений. Для более глубоких знаний о рефрактарных металлах и сплавах посетите Advanced Refractory Metals (ARM).

Компания ARM, базирующаяся в Лейк-Форест, Калифорния, является глобальным лидером в поставках высококачественных рефрактарных металлов, таких как ниобий, молибден, тантал, рений, вольфрам, титан и цирконий, по конкурентным ценам.