Центрифугирование (spin coating): точное осаждение тонких пленок в микробиофабрикации

Центрифугирование (spin coating) — процесс нанесения тонкого слоя пленки на подложку. Использует центрифугу (spin coater) в лабораториях и производстве. Ключевую роль играет в микробиофабрикации — создании сверхмалых/тонких структур. Позволяет получать сверхтонкие равномерные покрытия, недоступные другими методами.

Процесс

Наносят дозированное количество смолы в центр подложки.
Подложку помещают в центрифугу, закрывают крышку.
При вращении смола распределяется по поверхности; излищы сбрасываются с краев при наборе оборотов.
Покрытую подложку извлекают и сушат в термостате до полной полимеризации пленки.

Применение

Тонкопленочное осаждение используется в производстве пленок, микросхем, электроники, микросхем, CD, покраске. Ученые применяют в мед/научных экспериментах.

Материалы и параметры

Смолы варьируются: циклогексанон для общих целей, но не универсален. Подложки — полистирол, полимерные смеси. Даже малые изменения (вязкость смолы, соотношение твердое/жидкое, скорость вращения, температура, испарение) кардинально меняют качество пленки.

Оборудование

От настольных моделей до крупномасштабных автоматизированных линий. Малые — низшая точность толщины и однородности. Крупные — полная автоматизация всех параметров, высокая воспроизводимость.

Прототипы литья под давлением: виды, процессы и применение Обслуживание, ориентированное на надежность (RCM): стратегия максимизации надежности и прибыли

Промышленное оборудование

Станок с ЧПУ

Промышленный робот

Промышленное оборудование