Высокочистые фейс-силь фотинги: необходимы для целостности чистых комнат полупроводников

Почему вакуумные фейс-силь фитинги идеальны для высокочистых полупроводниковых приложений

Масрур Малик, менеджер по рынку полупроводников, Swagelok

Учитывая бесконечное стремление полупроводниковой отрасли к все меньшим процессным узлам, необходимым для производства более мощных чипов, поддержание чистоты процесса становится все более сложной задачей. Для удовлетворения этих меняющихся потребностей фабрики должны создавать производственные среды беспримерной точности и чистоты, а OEM должны разрабатывать оборудование, которое постоянно поднимает планку соответствия этим потребностям.

В самых требовательных приложениях ультравысокой чистоты (UHP) жидкостных систем — инертные или специальные газы, например — соединения фитингов являются критическим соображением для OEM инструментов. Хотя UHP системы часто свариваются для минимизации возможности утечек, определенные соединения должны периодически разбираться для обслуживания или замены. Но из-за коррозионной природы некоторых современных процессных жидкостей и эксплуатационных условий, традиционные варианты фитингов с эластомерными уплотнениями O-ring могут быть непригодны для надежной службы из-за несовместимости материалов. В то же время герметичность имеет высшее значение. Утечки могут быть опасны, могут загрязнить UHP среду и могут стоить производителю значительных потерь выручки и расходов на обслуживание.

В этих приложениях вакуумные фейс-силь фитинги могут представлять потенциальное решение. По сравнению с традиционными фитингами, эта технология обеспечивает надежность металл-металлического уплотнения, предлагая герметичную работу с конструкцией от вакуума до положительного давления. Вакуумные фейс-силь фитинги также могут помочь улучшить общую чистоту, минимизируя зоны застревания, и могут повысить эффективность производства и обслуживания своим простым процессом установки.

Непримиримая производительность уплотнения

Вакуумные фейс-силь фитинги были впервые разработаны для использования в ультравысоковакуумных системах в 1960-х, которые были ключевыми для передового научного исследования в ядерной энергетике. Сегодня их способность поддерживать герметичное уплотнение для высокотоксичных, коррозионных и легковоспламеняющихся жидкостей сделала их идеальными для некоторых из самых популярных приложений в полупроводниковом производстве.

Вакуумный фейс-силь фитинг использует два высокополированных буса для деформации металлической прокладки при зацепке гайки male и female nut для достижения таких высоких уровней производительности. Уплотнение происходит на прокладке на «лице» буса, давая фитингу его название. Поскольку уплотнение образуется, когда бусы проникают в прокладку, материал прокладки должен всегда быть мягче бусов. Эта деформация позволяет бусам сохранять свою полировку, что критично для производительности уплотнения. Важно, что полированные бусы должны быть защищены при каждом разборе фитингов. В обычных эксплуатационных условиях уплотнение полностью обтекается газом, проходящим через фитинг, что делает его легким для пурга и идеальным для систем, где необходимо избегать застревающих объемов и мертвых зон.

Способность вакуумных фейс-силь фитингов поддерживать герметичное уплотнение сделала их идеальными для некоторых из самых важных приложений в полупроводниковом производстве.

Помимо создания надежного уплотнения, вакуумные фейс-силь фитинги спроектированы для устранения зон потенциального застревания контаминантов по сравнению с традиционными тубовыми фитингами. Поскольку полупроводниковые UHP процессы содержат газы, которые в конечном итоге движутся вниз по течению и воздействуют на вейфер в процессной камере, любая возможность обеспечить чистоту и чистоту ценна. Вакуумные фейс-силь фитинги предлагают тот вид выдающейся чистоты, которого требуют производственные среды полупроводников. Некоторые поставщики могут предлагать дополнительные улучшения; более высокие классы нержавеющей стали с повышенными концентрациями никеля и хрома могут еще больше улучшить коррозионную стойкость, а обработки поверхности вроде электролитического полирования оставляют пассивирующий слой для усиленной чистоты.

Эффективная установка и обслуживание

Процедуры обслуживания и поддержания UHP систем должны выполняться быстро и с минимальным нарушением работы объекта, потому что в мире полупроводниковой фабрикации время — деньги.

Поскольку их можно легко разбирать и собирать заново, вакуумные фейс-силь фитинги предлагают преимущества в эффективности и обслуживании в UHP приложениях, где требуется точка разборки-сборки. Установка проста и может выполняться обычными инструментами. Сначала соединение затягивается вручную до упора. Затем гайка male удерживается неподвижной, пока гайка female затягивается на 1/8 оборота (45°) после ручного затягивания ключом (или 1/4 оборота 90° при использовании медной прокладки). При необходимости пересборки техники должны удалить использованную прокладку и заменить её на новую, затем следовать исходным инструкциям по затяжке. Этот простой процесс создает эффективность при начальной сборке системы и всякий раз, когда требуется обслуживание, помогая пользователям быстрее возвращаться в производство.

Смотрите, как установить вакуумный фейс-силь фитинг

Вакуумные фейс-силь фитинги представляют идеальный выбор в UHP системах, где критичны надежность и легкость обслуживания. Если вы решите специфицировать их для вашей системы, также важно работать с правильным поставщиком.

Swagelok имеет наследие инноваций в жидкостных системах для полупроводниковых приложений, уходящее корнями в ранние дни Кремниевой долины. Наши фейс-силь фитинги VCR® с металлической прокладкой были специально разработаны для решения уникальных вызовов, встречающихся при обработке и распределении UHP газов, текущих через объекты фабрикантов к OEM инструментам чип-производства.

Мы понимаем повседневные вызовы, с которыми сталкиваются в полупроводниковой производственной среде — и мы рады делиться нашими знаниями с клиентами. Мы предлагаем комплексные курсы обучения наших фитингов VCR, их конструктивных особенностей и где они могут быть наиболее эффективно развернуты. Участники также могут узнать, что требуется для эффективной установки каждого типа фитинга и как устранять потенциальные проблемы.

Заинтересованы в получении дополнительной информации о наших решениях VCR фейс-силь и возможностях обучения? Наши специалисты готовы помочь.