Лабораторный чип NASA Goddard обеспечивает мониторинг потока и температуры в реальном времени

Космический 비행ный центр NASA Goddard разработал датчик для микроаналитических систем, который измеряет в реальном времени расход и температуру отбираемой жидкости. Текущие датчики отводят жидкость к отдельным датчикам температуры и расхода, что может привести к утечке жидкости и необходимости большего начального образца. Эта конструкция устраняет это отведение. Датчики системы измеряют расходы в диапазоне нанолитров в минуту и температуры от выше 150 °C до ниже -80 °C.

Датчики в этой системе заключены в нитрид кремния (SiN) для электрической изоляции от потока жидкости и подвешены в середине канала для максимизации их чувствительности и времени отклика. Датчики температуры используются как часть конструкции датчика расхода. Датчик температуры перед (до) нагревателем дает начальное показание температуры жидкости. Датчик за (после) нагревателем измеряет, сколько тепла нагреватель смог передать в жидкость. Зная теплопроводность и теплоемкость жидкости, а также мощность на резисторе и изменение температуры, можно рассчитать расход жидкости.

Датчики изготавливаются на кремниевой (Si) подложке, в которую вытравлен микроканал. Жертвенный слой осаждается на Si-подложку для заполнения каналов; это обеспечивает плоскую поверхность для изготовления датчиков.

NASA активно ищет лицензиатов для коммерциализации этой технологии. Пожалуйста, свяжитесь с лицензиарным консьержем NASA по адресу This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. или позвоните по телефону 202-358-7432 для начала лицензионных переговоров. Перейдите по этой ссылке для получения дополнительной информации: https://technology.nasa.gov/patent/GSC-TOPS-159 .