Лабораторный датчик расхода и температуры

Центр космических полетов имени Годдарда НАСА разработал датчик для микроаналитических систем, который в режиме реального времени измеряет скорость потока и температуру отбираемой жидкости. Датчики тока направляют жидкость к отдельным датчикам температуры и расхода, что может привести к утечке жидкости и необходимости получения исходной пробы большего размера. Этот дизайн устраняет эту диверсию. Датчики системы измеряют скорость потока в диапазоне нанолитров в минуту и ​​температуры от более чем 150 °C до ниже -80 °C.

Датчики в этой системе заключены в нитрид кремния (SiN), чтобы электрически изолировать их от потока жидкости, и подвешены в середине канала, чтобы максимизировать их чувствительность и время отклика. Датчики температуры используются как часть конструкции датчика расхода. Датчик температуры перед (перед) нагревателем дает начальное показание температуры жидкости. Датчик позади (после) нагревателя измеряет, сколько тепла нагреватель смог направить в жидкость. Зная теплопроводность и теплоемкость жидкости, а также мощность резистора и изменение температуры, можно рассчитать расход жидкости.

Датчики изготавливаются на кремниевой (Si) пластине с выгравированным на ней микроканалом. На кремниевую пластину наносится жертвенный слой для заполнения каналов; это обеспечивает плоскую поверхность для изготовления датчиков.

НАСА активно ищет лицензиатов для коммерциализации этой технологии. Пожалуйста, свяжитесь с консьержем НАСА по лицензированию:Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. или позвоните нам по телефону 202-358-7432, чтобы начать обсуждение лицензирования. Перейдите по этой ссылке для получения дополнительной информации:https://technology.nasa.gov/patent/GSC-TOPS-159 .