Объяснение фитингов с торцевым уплотнением высокой степени чистоты

Почему вакуумные фитинги с торцевым уплотнением идеально подходят для применения в полупроводниковых приборах высокой чистоты

<эм> Масрур Малик, менеджер по рынку полупроводников, Swagelok

Учитывая постоянное стремление полупроводниковой промышленности к созданию все более мелких технологических узлов, необходимых для производства более мощных микросхем, поддержание чистоты технологического процесса становится все более и более сложной задачей. Чтобы удовлетворить эти постоянно меняющиеся потребности, фабрики должны создавать производственные среды с бескомпромиссной точностью и чистотой, а OEM-производители должны разрабатывать оборудование, которое постоянно совершенствуется для удовлетворения этих потребностей.

В наиболее требовательных жидкостных системах сверхвысокой чистоты (UHP) — например, инертных или специальных газах — соединения являются важным фактором для OEM-производителей инструментов. Хотя системы UHP часто сваривают, чтобы свести к минимуму возможность утечки, некоторые соединения необходимо периодически переделывать для обслуживания или замены. Но из-за коррозионной природы некоторых современных технологических жидкостей и условий эксплуатации традиционные варианты фитингов с эластомерными кольцевыми уплотнениями могут оказаться непригодными для надежной работы из-за несовместимости материалов. При этом герметичность имеет первостепенное значение. Утечки могут быть опасными, могут загрязнить среду сверхвысокого давления и могут стоить производителю значительных упущенных доходов и затрат на техническое обслуживание.

В этих случаях вакуумные фитинги с торцевым уплотнением могут представлять собой потенциальное решение. По сравнению с традиционными фитингами эта технология обеспечивает надежность уплотнения «металл-металл», предлагая герметичные характеристики с конструкцией от вакуума до избыточного давления. Вакуумные фитинги с торцевым уплотнением также могут помочь повысить общую чистоту за счет минимизации площадей захвата и могут повысить эффективность производства и обслуживания благодаря простому процессу установки.

Бескомпромиссная производительность уплотнения

Вакуумные фитинги с торцевым уплотнением были впервые разработаны для использования в системах сверхвысокого вакуума в 1960-х годах, которые сыграли ключевую роль в новаторских научных исследованиях в области атомной энергетики. Сегодня их способность обеспечивать герметичность при работе с высокотоксичными, коррозионно-активными и легковоспламеняющимися жидкостями сделала их идеальными для некоторых наиболее популярных применений в производстве полупроводников.

В вакуумном фитинге с торцевым уплотнением используются два тщательно отполированных валика для деформации металлической прокладки во время зацепления накидной и накидной гаек для достижения такого высокого уровня производительности. Уплотнение происходит на прокладке на «лице» буртика, благодаря чему фитинг получил свое название. Поскольку уплотнение образуется, когда валики проникают в прокладку, материал прокладки всегда должен быть мягче, чем валики. Эта деформация позволяет шарикам сохранять свой блеск, что имеет решающее значение для герметичности. Важно, чтобы полированные бусины были защищены при каждой разборке фитингов. В нормальных условиях эксплуатации уплотнение полностью омывается газом, проходящим через фитинг, что упрощает его продувку и идеально подходит для систем, в которых необходимо избегать застойных зон и застойных зон.

Способность вакуумных фитингов с торцевым уплотнением обеспечивать герметичность делает их идеальными для некоторых наиболее важных применений в производстве полупроводников.

В дополнение к созданию надежного уплотнения вакуумные фитинги с торцевым уплотнением предназначены для устранения областей потенциального захвата загрязняющих веществ по сравнению с традиционными трубными фитингами. Поскольку полупроводниковые процессы сверхвысокого давления содержат газы, которые в конечном итоге будут перемещаться вниз по потоку и подвергаться воздействию пластины в технологической камере, ценна любая возможность обеспечить чистоту и чистоту. Вакуумные фитинги с торцевым уплотнением обеспечивают исключительную чистоту, необходимую для производства полупроводников. Некоторые поставщики могут предлагать дополнительные улучшения; нержавеющие стали более высокого качества с повышенным содержанием никеля и хрома могут еще больше улучшить коррозионную стойкость, а обработка поверхности, такая как электрополировка, оставляет пассивирующий слой для повышения чистоты.

Эффективная установка и обслуживание

Процедуры технического обслуживания и ремонта систем UHP должны выполняться быстро и с минимальным нарушением работы объекта, поскольку в мире производства полупроводников, время - деньги.

Поскольку их можно легко разобрать и переделать, вакуумные фитинги с торцевым уплотнением обеспечивают эффективность и преимущества в обслуживании в приложениях UHP, где требуется точка сборки или разрыва. Установка проста и может быть выполнена с помощью обычных инструментов. Сначала соединение скручивается до упора от руки. Затем гайка с наружной резьбой удерживается неподвижно, в то время как гайка с внутренней резьбой затягивается на 1/8 оборота (45°) от руки с помощью гаечного ключа (или на 1/4 оборота на 90° при использовании медной прокладки). Когда требуется переделка, техникам необходимо удалить использованную прокладку и заменить ее другой, а затем следовать оригинальным инструкциям по сборке. Этот простой процесс может повысить эффективность при первоначальной сборке системы и всякий раз, когда требуется техническое обслуживание, помогая пользователям быстрее вернуться к работе.

Посмотрите, как установить вакуумный фитинг с торцевым уплотнением

Фитинги с вакуумным торцевым уплотнением представляют собой идеальный выбор в системах сверхвысокого давления, где надежность и простота обслуживания имеют решающее значение. Если вы решите указать их для своей системы, также важно работать с правильным поставщиком.

Компания Swagelok обладает богатым наследием инноваций в области жидкостных систем для полупроводниковых процессов, которое восходит к истокам Силиконовой долины. Наш видеомагнитофон ^® фитинги с торцевым уплотнением с металлической прокладкой были разработаны специально для решения уникальных задач, возникающих при обработке и распределении сверхвысококачественных газов, которые проходят через объекты производителя к инструментам для производства микросхем OEM.

Мы понимаем повседневные проблемы, с которыми приходится сталкиваться при производстве полупроводников, и мы рады поделиться своими знаниями с нашими клиентами. Мы предлагаем всесторонние учебные курсы по нашим фитингам для видеомагнитофонов, их конструктивным особенностям и тому, где их можно наиболее эффективно использовать. Участники также узнают, что нужно для эффективной установки каждого типа фитингов и как устранять любые потенциальные проблемы.

Хотите узнать больше о наших решениях для лицевых уплотнений VCR и возможностях обучения? Наши специалисты готовы помочь.