Высокопроизводительные пластики: критические материалы для современного полупроводникового производства

Высокопроизводительные пластики незаменимы в полупроводниковом производстве, где точность и контроль загрязнения первостепенны. Процесс fabricación начинается с кремниевых пластин и полностью интегрированного объекта — обычно называемого фаб — чья стройка может достигать нескольких миллиардов долларов. В сердце каждого фаба лежит чистая комната.

Пыль строго контролируется; даже мельчайшая частица может повредить ИС. Объект виброамортизирован, температура и влажность жёстко регулируются для подавления статического разряда.

Интегральные схемы производятся через последовательность шагов — фотолитография, травление, очистка, тонкоплёночное осаждение, полировка — требующие примерно 270 химикатов и газов¹. Многие из этих веществ, такие как азотная, хлороводородная и фтористоводородная кислоты, и озон, высококоррозионны. Металлы могут корродировать, генерируя недопустимые уровни частиц и вызывая отказы оборудования. Высокопроизводительные пластики, однако, превосходно работают в этих враждебных средах.

Топ-10 критериев производительности высокопроизводительных пластиков в полупроводниковом фабрикейшн:

1. Исключительная химическая стойкость для предотвращения коррозии.
2. Минимальная генерация частиц для более высокого выхода.
3. Низкое выгазирование и впитывание влаги в вакууме.
4. Превосходная высокотемпературная способность.
5. Отличная электроизоляция с низкой диэлектрической константой.
6. Размерная стабильность и крип-устойчивость для долгого срока службы.
7. Низкое содержание металлических ионов для минимальных экстрактируемых в высокочистых химикатах.
8. Отличная механическая обрабатываемость.
9. Огнезадержка.
10. Низкая теплопроводность.

Как эти пластики применяются: Полупроводниковое оборудование широкое, но высокопроизводительные пластики наиболее критичны в мокрых станциях (wet-bench). Эти станции выполняют кислотное травление, промывку и сушку — процессы, требующие максимальной чистоты и защиты от химического переноса или загрязнения пластин при сушке.

Смотрите YouTube-видео мокрой станции в действии!
[Video Link]

Частые высокопроизводительные пластики в компонентах мокрых станций: ПВДФ (поливинилиденфторид), ПП² (полипропилен), ПТФЭ (политетрафторэтилен), ФЭП (фторированный этиленпропилен), ПФА (перфторокси), ХПВХ (хлорированный поливинилхлорид), ЭКТФЭ (этиленхлортрифторэтилен), ПКТФЭ (полихлортрифторэтилен).

Эти материалы формируют баки, фитинги, винты, прокладки, спейсеры, корпуса, поддоны для вёдер пластин, ручки, петли, листы, трубки и насосы. Их химическая стойкость и долговечность делают их незаменимыми для поддержания целостности процесса.

Без высокопроизводительных пластиков персональные компьютеры, смартфоны и плоские экраны, определяющие информационную эру, были бы немыслимы.

____________________________

¹ Согласно HANDBOOK OF CHEMICALS AND GASES FOR THE SEMICONDUCTOR INDUSTRY, опубликованному Wiley.

² Гомополимер.

Следите за продолжением, фокусирующимся специально на высокопроизводительных пластиках в полупроводниковой отрасли с детальными данными свойств!

Ищете больше информации о химической стойкости в высокопроизводительных пластиках? Посмотрите наш Материальный Гайд!