Высокоэффективные пластмассы в полупроводниковой промышленности

Пластмассы с высокими эксплуатационными характеристиками играют жизненно важную роль в полупроводниковой промышленности. Производство полупроводника - сложный процесс. Все начинается с кремниевых пластин и автономного производственного предприятия, которое может стоить несколько миллиардов долларов. Центральная часть фабрики - это чистое помещение.

Пыль в чистой комнате тщательно контролируется. Даже самое маленькое пятнышко воздуховода больше микросхемы и может испортить ИС. Кроме того, помещение защищено от вибрации, а температура и влажность тщательно поддерживаются, чтобы минимизировать статическое электричество.

Интегральные схемы производятся с использованием таких процессов, как фотолитография, травление, очистка, осаждение тонких пленок и полировка. Требуется около 270 химикатов и газов ¹ для производства интегральной схемы. Многие из них чрезвычайно агрессивны:азотная кислота, соляная и фтористоводородная кислоты, озон и многие другие. Металлы будут разъедать при воздействии этих химикатов, вызывая неприемлемые уровни твердых частиц и отказы оборудования…. Но есть ряд высокоэффективных пластиков, которые очень хорошо работают в этих экстремальных условиях.

Вот список из десяти основных критериев эффективности пластмасс с высокими эксплуатационными характеристиками в полупроводниковой промышленности:

1. Превосходная химическая стойкость, предотвращающая коррозию.

2. Низкое образование частиц для лучшего выхода продукта.

3. Низкое газовыделение и низкое влагопоглощение в вакууме.

4. Высокотемпературные характеристики.

5. Электроизоляционные свойства, низкая диэлектрическая проницаемость.

6. Стабильность размеров для увеличения срока службы детали, сопротивление ползучести.

7. Низкое содержание ионов металлов, следовательно, низкие уровни экстрагируемых веществ в химикатах высокой чистоты.

8. Отличная обрабатываемость.

9. Огнестойкий.

10. Низкая теплопроводность.

Итак, как используются эти высокоэффективные пластмассы? Во-первых, вы должны понимать, что существует множество типов оборудования для обработки полупроводников. Пластмассы с высокими эксплуатационными характеристиками важны на всех этапах производства полупроводников, но, возможно, не больше, чем на мокрых стендах. Эти машины выполняют влажные химические процессы, такие как кислотное травление, а также химическую промывку и сушку. Влажные столы обеспечивают максимальную чистоту процесса и сводят к минимуму угрозу химического уноса или загрязнения пластин во время сушки.

Посмотрите это видео на YouTube о мокрой скамейке в действии!

В этом типе оборудования широко используются высокоэффективные пластмассы. пластмассы, такие как ПВДФ (поливинилидендифторид); ПП ² (полипропилен); ПТФЭ (политетрафторэтилен); Наиболее распространены FEP (фторированный этиленпропилен; PFA (перфторалкокси); CPVC (хлорированный поливинилхлорид); ECTFE (этилен-хлортрифторэтилен) и PCTFE (полихлортрифторэтилен). Эти высокоэффективные пластмассы используются для изготовления резервуаров, фитингов, винтов, прокладок. , прокладки, корпуса, прокладки, лотки для пластин, ручки, петли, листы, трубки и насосы. Они обладают высокой химической стойкостью и устойчивы к экстремальным условиям окружающей среды.

Без высококачественного пластика наши ноутбуки, мобильные телефоны и широкоэкранные телевизоры, да и сама информационная эра, были бы невозможны .

____________________________

¹ Согласно СПРАВОЧНИК ПО ХИМИКАТАМ И ГАЗАМ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ опубликовано Wiley.

² Гомополимер

Вернитесь в ближайшее время, чтобы увидеть продолжение публикации, в которой более подробно рассматриваются высокоэффективные пластмассы, используемые в полупроводниковой промышленности, и включаются данные о собственности!

Ищете дополнительную информацию о химической стойкости высокоэффективных пластмасс? Ознакомьтесь с нашим Руководством по материалам!