Тонкопленочные испарители: принцип работы и применение

Что такое тонкопленочный испаритель?

Устройство для осаждения сверхтонких слоев атомов или молекул на подложку путем испарения или сублимации целевого материала в вакуумной камере.

Конструкция

Вакуумная камера
Нагревательный элемент
Механизм удержания и перемещения подложки

Два основных метода

Резистивное испарение

Электрический ток проходит через целевой материал (филамент или фольга), нагревая его до испарения/сублимации. Распространенные материалы: золото, алюминий. Филаменты сложны в загрузке, фольга — удобнее и дает больший выход.

Электронно-лучевое испарение

Фокусированный пучок высокоэнергетических электронов нагревает цель в охлажденной чаше. Преимущества:

Для материалов с высокой температурой испарения
Контейнер не перегревается и не плавится
Требует специального оборудования, более затратно

Проблема твердых частиц

При резистивном испарении некоторые материалы сбрасывают твердые фрагменты, портящие пленку. Решение — закрытый нагреватель с микропрорезами для выхода газа и удержания твердых частиц.

Применение

Полупроводниковая промышленность, оптические покрытия, солнечные батареи, датчики, декоративные покрытия.

Тепловые окислители: очистка промышленных выбросов Грузоперевозки и логистика: ключевые роли и глобальные процессы

Промышленное оборудование

Станок с ЧПУ

Промышленный робот

Промышленное оборудование