Двусторонняя сверхпроводящая цепь на ультратонких кремниевых вейферах: компактное решение с низким перекрестным помехом

Новая методология фабрикации решает потребность в тонкой двусторонней печатной плате, способной обеспечить низкие перекрестные помехи между датчиками и низкие потери в линиях передачи.

Метод фабрикации позволяет использовать минималистический кремниевый вейфер как печатную плату, уменьшая пространство и увеличивая эффективность за счет осаждения сверхпроводящего материала на обе стороны. Из-за тонкой природы кремниевого вейфера, дополнительный подложка-ручка вейфера требуется во время фабрикации этой цепи для возможности осаждения металлической тонкой пленки на горячей подложке на одной стороне вейфера. Кроме того, металлический и полимерный жертвенный слой используется для защиты кремниевой подложки и сверхпроводящих металлических слоев во время удаления нежелательного кремния, зарытого оксида и эпоксидных слоев.

Этот процесс вводит методологию фабрикации, необходимую для реализации ультра-низкопотерьных линий передачи и ультра-низких перекрестных помех между сверхпроводящими датчиками.

NASA активно ищет лицензиатов для коммерциализации этой технологии. Пожалуйста, свяжитесь с Консьержем лицензирования NASA по адресу Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Вам нужно включить JavaScript, чтобы увидеть его. или позвоните по 202-358-7432 для начала дискуссий о лицензировании. Следуйте этой ссылке здесь  для получения дополнительной информации.