Изготовление сверхпроводящих схем на обеих сторонах ультратонкого слоя кремния

Новая методология изготовления позволяет удовлетворить потребность в тонкой двусторонней печатной плате, обеспечивающей низкие перекрестные помехи между датчиками и низкие потери в линиях передачи.

Метод изготовления позволяет использовать минималистическую кремниевую пластину в качестве печатной платы, уменьшая пространство и повышая эффективность за счет нанесения сверхпроводящего материала с обеих сторон. Из-за тонкости кремниевой пластины во время изготовления этой схемы требуется дополнительная пластина с опорной ручкой, чтобы можно было наносить тонкую металлическую пленку на горячую подложку с одной стороны пластины. Кроме того, металлический и полимерный расходуемый слой используется для защиты кремниевой подложки и сверхпроводящих металлических слоев во время удаления нежелательных слоев кремния, скрытого оксида и эпоксидной смолы.

Этот процесс представляет методологию изготовления, необходимую для реализации линий передачи со сверхнизкими потерями и сверхнизкими перекрестными помехами между сверхпроводящими датчиками.

НАСА активно ищет лицензиатов для коммерциализации этой технологии. Пожалуйста, свяжитесь с консьержем НАСА по лицензированию:Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. или позвоните по телефону 202-358-7432, чтобы начать обсуждение лицензирования. Перейдите по этой ссылке здесь Чтобы получить больше информации.